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皮拉尼真空計(jì)TRP-11在半導(dǎo)體行業(yè)的運(yùn)用

  • 發(fā)布日期:2023-09-24      瀏覽次數(shù):867
    • 皮拉尼真空計(jì)TRP-11在半導(dǎo)體行業(yè)的運(yùn)用

      真空測(cè)量就是真空度的測(cè)量,而真空度是指低于大氣壓力的氣體稀薄程度。以壓力表示真空度是由于歷沿用下來(lái)的并不十分合理。壓力高意味著真空度低;反之,壓力低與真空度高相對(duì)應(yīng)。真空計(jì)(Vacuum Gauge),又名真空表就是依據(jù)各種原理制作成用來(lái)測(cè)量真空狀態(tài)下壓力大小的真空傳感器,由柵極、燈絲、收集極組成,其特征在于有上、下端柵的鼠籠式柵極,環(huán)形燈絲,與小子羊柵極長(zhǎng)度的處于柵極內(nèi)部的短收集極的同軸組合結(jié)構(gòu),并且利用真空連接管導(dǎo)。
      談到半導(dǎo)體技術(shù),就繞不開(kāi)真空行業(yè)。由于半導(dǎo)體制造與封測(cè)技術(shù)的復(fù)雜性,從晶圓裸片到芯片成品,中間需要經(jīng)過(guò)氧化、濺鍍、光刻、刻蝕、離子注入、以及封裝等上百道特殊的工藝步驟,其中多個(gè)步驟都離不開(kāi)真空環(huán)境。就半導(dǎo)體應(yīng)用設(shè)備而言,電子加速、光電器件、電子材料、射線管、晶振、激光、離子注入設(shè)備、離子刻蝕機(jī)、CVD、PECVD,PVD、分子束外延設(shè)備、集成電路封裝等等,均會(huì)用到中高真空,所有設(shè)備真空腔體的真空度檢測(cè)主要是用真空規(guī),一般前級(jí)真空一個(gè),本底和工藝監(jiān)控各一個(gè),都選的是進(jìn)口的真空計(jì),皮拉尼、熱電離規(guī)、電容薄膜規(guī)等。


      皮拉尼真空計(jì)TRP-11

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      特征

      ■可測(cè)量從5×10-2Pa到大氣壓的大范圍壓力

      ■數(shù)字電路顯著提高了溫度校正功能,實(shí)現(xiàn)了高精度。

      ■數(shù)字電路和燈絲結(jié)構(gòu)使其輕巧緊湊。

      ■壓力輸出比例DC 0至10 V(輸出分辨率14位),并且可以使用Log線性輸出通過(guò)數(shù)學(xué)公式轉(zhuǎn)換壓力。

      ■傳感器TRP-11由DC 12至30 V的電源電壓驅(qū)動(dòng),顯示器用于AC 100 至 240 V 范圍。 可能通過(guò)集成傳感器控制電路,可以在沒(méi)有電源指示燈的情況下使用,從而節(jié)省空間。

      ■標(biāo)準(zhǔn)配備 RS-485 數(shù)字通信,非常適合自動(dòng)化。

      ■ATM(大氣壓)/VAC(高真空)可通過(guò)按鈕開(kāi)關(guān)調(diào)節(jié)

      ■狀態(tài) LED 功能提高傳感器狀態(tài)的可視性

      ■各種過(guò)程中的壓力 非常適合監(jiān)控

      ■TRP-11SP(可選)配備 2 個(gè)設(shè)定點(diǎn),可用作真空開(kāi)關(guān)。

      ■使用內(nèi)置開(kāi)關(guān)可以輕松設(shè)置設(shè)定點(diǎn)。 

      原理分析圖


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