日本Amenity公司的氣流可視化設備AVIS基于霧示蹤法,在潔凈室環境中具有以下顯著優勢:
1. 無污染且兼容潔凈環境
超純水霧化:采用超純水作為示蹤劑,無毒、無化學污染,符合潔凈室對材料純凈度的嚴苛要求,避免引入外來污染物。
顆粒尺寸可控:生成的0.5μm霧氣顆粒是潔凈室標準粒徑,既能穩定懸浮跟隨氣流,又不會因過大顆粒沉降造成設備或產品污染。
2. 高精度氣流追蹤
真實反映氣流動態:0.5μm顆粒具有極低的慣性,能精準跟隨氣流運動(包括低速氣流),避免示蹤劑自身干擾測量結果,確保可視化數據真實可靠。
微小擾動優化:設備通過調節風量和振蕩頻率,最小化霧氣噴射對原有氣流的影響,尤其適合對氣流穩定性要求高的潔凈室環境。
3. 直觀感染風險分析
病原體傳播路徑模擬:霧氣顆粒的運動可直觀顯示氣流攜帶污染物的擴散路徑,幫助識別交叉污染風險點(如手術室飛沫傳播、制藥車間微粒擴散)。
死角與湍流檢測:通過可視化氣流停滯區或異常渦流,優化潔凈室換氣次數(ACH)及高效過濾器(HEPA)布局,提升單向流(層流)效果。
4. 實時動態評估與驗證
無需復雜設備介入:直接目視或結合攝像記錄即可評估氣流組織,無需暫停潔凈室運行,適合動態驗證壓差梯度或設備啟停時的氣流變化。
兼容驗證標準:支持ISO 14644-3等潔凈室檢測標準中對氣流流型測試的要求,輔助驗證單向流、非單向流性能。
5. 操作靈活與安全性
參數可調適配場景:通過調整霧量、顆粒大小(如降低頻率增大顆粒以觀察高速氣流),適應不同潔凈等級(ISO 5級至8級)的檢測需求。
無安全隱患:超純水霧氣無導電性或腐蝕性,可在電子類潔凈室等敏感區域安全使用,區別于油基或固體顆粒示蹤劑。
應用場景示例
手術室:可視化麻醉氣體泄漏路徑,優化排風系統設計。
半導體車間:檢測光刻機周邊氣流擾動,防止微粒沉積晶圓。
生物安全實驗室:驗證負壓環境下危險氣溶膠的 containment 效果。
綜上,AVIS設備通過無害化、高精度且直觀的可視化方案,成為潔凈室氣流優化、感染控制及合規驗證的高效工具。