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更新日期:2024-03-19
簡要描述:
日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-701HMCⅡ支持W(鎢)/ Ni(鎳)/ Cr(鉻)/ Ti(鈦)等成膜的DC濺射設備。使用磁控管陰極內置微型計算機對成膜過程進行高精度控制
品牌 | 其他品牌 |
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日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-701HMCⅡ
特征
支持W(鎢)/ Ni(鎳)/ Cr(鉻)/ Ti(鈦)等成膜的DC濺射設備。
使用磁控管陰極
內置微型計算機對成膜過程進行高精度控制
操作方式為全自動/手動兩種模式
標配自動快門機構
應用/結果示例
W / Ni / Cr / Ti等的成膜
燃料電池基礎實驗
日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-701HMCⅡ
基本規格
陰極 | φ2英寸磁控管陰極 |
快門機制 | 自動/手動操作 |
氣體導入機制 | 針閥(自動/手動控制) |
真空泵 | 直連式旋轉泵:100l / min(有自動泄漏) |
箱體尺寸 | 內徑φ160mmx D160mm(SUS制) |
樣品交換方法 | 前門開合式 |
尺寸(寬/深/高) | 機身: 360/360 / 260mm RP:174/460 / 264mm |
重量 | 身體:20公斤 RP:23公斤 |