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yutaka半導體制造用壓力控制設備L12系列 數顯壓力表

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更新日期：2024-03-23

簡要描述：

yutaka半導體制造用壓力控制設備L12系列
L12 系列是按照 1.25“ SEMI 標準設計的壓力調節器。

yutaka半導體制造用壓力控制設備L12系列 數顯壓力表
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yutaka半導體制造用壓力控制設備L12系列

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L12系列（集成型）


  • 功能

  • 低壓1MPa以下
    焊接規范金屬墊片
    配件集成規格

  • 調節閥結構

  • 針型

  • 兼容氣體

  • 7類特殊高壓氣體腐蝕性氣體，有毒氣體

    除外

  • 標準流量

  • ~60噸/分鐘


    yutaka半導體制造用壓力控制設備L12系列

    • 特點

      規范

      入口壓力最大0.99MPa
      調節壓力（L12?L12H）最大0.7MPa（量程規格0~0.2MPa、0~0.4MPa、0~0.7MPa
      ）
      調節壓力（L12V）量程規格 -0.08~0.1MPa， -0.08~0.2MPa
      耐壓壓力1.5MPa （入口側）
      簡歷值0.1
      工作溫度-10~+40°C
      外部泄漏1×10-11Pa?m3/秒?He （真空方式）
      質量約 270g（1.125“ SEMI 規格）

      • L12 系列是按照 1.25“ SEMI 標準設計的壓力調節器。

      • 與集成供氣系統的 1.125 英寸和 1.5 英寸 W 和 C 密封件兼容。

      • 還提供高流量和真空規格以及端面密封接頭類型。


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